靶面激光光斑尺寸原位测量的研究

摘要：

提供了一种简便易行的靶面激光光斑尺寸原位测量的方法.从高斯光束的横向光强分布特性出发,建立了激光烧蚀斑半径与辐照激光能量、光斑尺寸、烧蚀阈值间的关系式,模拟分析发现辐照激光光斑尺寸对烧蚀斑半径随辐照能量变化曲线有较大影响.对于脉宽为2ms,波长为1064 nm的激光,实验测量了不同能量激光辐照下相纸烧蚀斑半径,并用推导出的关系式拟合测量数据,获得了靶面处光斑尺寸和样品烧蚀阈值.同时,也测量了不同位置处的光斑尺寸和样品烧蚀阈值,对高斯光束束腰位置和样品烧蚀阈值的光斑尺寸效应进行了验证.研究结果表明该技术结果可靠,简单高效.该技术可以为高能激光与固体物质相互作用的基础研究和激光加工等应用领域中实现简单方便地测量靶面光斑尺寸提供帮助.

关键词：激光技术、光斑尺寸、原位测量、高斯光束

所属期刊栏目：49

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省科学院实施创新驱动发展能力建设专项资金项目2018GDASCX-0947,2017GDASCX-0111,2018GDASCX-0111;广东省级科技项目2017A07071027;广东省自然科学基金团队项目2016A030312015

在线出版日期：2019-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1054-1059