精确拟合两种薄膜的光学常数及其应用

摘要：

研究了一种新的研究薄膜光学参数的方法,在同一基片上沉积两种薄膜,可以同时对这两种薄膜材料进行参数拟合.通过材料实验与光谱测试,基于柯西公式拟合得到了两种薄膜在可见与近红外波段的光学参数.将获得的薄膜参数应用到透450～600、反650～800滤光膜的设计与制备中,结果表明,用该方法获取的薄膜材料参数具有较高的准确性.

关键词：光学薄膜、薄膜常数拟合、滤光膜

所属期刊栏目：49

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2019-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：747-750