碲锌镉衬底晶向对碲镉汞薄膜表面形貌的影响

摘要：

利用定向仪对原生晶片及加工后的碲锌镉衬底的晶向进行比较,观察不同晶向衬底液相外延碲镉汞薄膜的表面形貌,考察了衬底晶向偏差对液相外延碲镉汞薄膜表面形貌的影响.通过进一步的追踪碲锌镉衬底在加工过程中的晶向变化,研究衬底晶向变化的原因和解决方法.研究发现,碲锌镉晶体在初次定向切割后的加工过程中晶向会发生明显变化,而在厚度减薄较大的粗磨工艺后不会发生较大晶向偏差,因此,可将粗磨后衬底的再次定向结果作为进一步筛选碲锌镉衬底的依据,以保证液相外延碲镉汞薄膜的质量.

关键词：碲锌镉、碲镉汞、晶向偏差、定向

所属期刊栏目：48

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1391-1394