不同腐蚀时间对CZT(211)B衬底的影响分析

摘要：

主要分析了不同溴甲醇(溴体积比为0.05％)腐蚀时间对CZT(211)B衬底表面粗糙度、总厚度偏差、红外透过率、Zn值以及X射线衍射半峰宽(FWHM)的影响.研究发现即使使用溴体积比0.05％的溴甲醇溶液腐蚀5 s,衬底表面粗糙度都会由0.5 nm增加至1.5 nm以上.随着腐蚀时间的增加CZT(211)B衬底总厚度偏差逐渐增加.使用溴甲醇作为抛光液的两个样品的Zn值明显低于使用氨水作为抛光液的样品,同时该两样品的X射线衍射半峰宽和红外透过率随腐蚀时间的变化趋势一致,但不同于使用氨水作为抛光液的样品,说明不同的抛光液影响CZT(211)B衬底表面Zn值以及表面损伤层等表面状态.

关键词：碲锌镉、溴甲醇、表面粗糙度、总厚度偏差

所属期刊栏目：48

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1268-1273