软脆碲锌镉衬底的新型化学抛光技术研究

摘要：

碲锌镉(CdZnTe)是液相外延碲镉汞(HgCdTe)薄膜的最佳衬底材料.获得高质量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义.针对CdZnTe表面加工技术进行了研究,开发出一种新的化学抛光技术,使得抛光后的CdZnTe表面粗糙度Ra可达0.3 nmo.

关键词：碲锌镉衬底、化学抛光、表面粗糙度

所属期刊栏目：48

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1264-1267