基于偏振差分干涉技术声表面波检测系统研究

摘要：

针对宽频声表面波的高灵敏度检测需求,研究设计搭建了基于偏振差分干涉技术的激光声表面波检测系统.实验中从干涉条纹可见度和差分信号的大小来评估系统的调试效果,利用压电陶瓷纳米位移台和SIOS干涉仪对检测系统进行测试和标定,得到系统的最小静态、动态检测位移;对系统各组成部分的噪声信号进行分析,并提出相应的抑制方法.最后对系统进行重复性测量,并对铝、硅样片上的激光声表面波信号进行检测.本研究为声表面波检测系统的性能评估提供了科学可行的方法,为声表面波技术在无损检测中的应用提供了一种可靠的测量手段.

关键词：光学干涉、激光声表面波、系统分析、无损检测

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1231-1237