皮秒激光加工研究进展与展望

摘要：

皮秒激光加工作为一种先进的超快加工技术,以其“冷加工”、高重复频率和高脉冲能量等特点,可实现对多种材料高精度、高效率的微细加工,在精密机械、表面工程、生物医学等领域具有广阔的应用范围和前景.综述了皮秒激光用于金属薄板及硬脆性材料的微孔加工、切割划线以及用于钛酸锶、氧化锆等材料表面改性方面的研究进展,从工艺参数优化、配套装备改进等方面探讨了皮秒激光加工现阶段存在的问题及发展方向.

关键词：激光材料加工、皮秒激光、微加工、表面改性

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61675009

在线出版日期：2019-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1195-1203