激光剪切干涉三维形貌测量

摘要：

针对物体表面的三维形貌测量问题,提出了一种基于激光剪切干涉条纹的三维形貌测量方法.该方法利用激光剪切干涉原理产生密集的干涉条纹,将干涉条纹阵列照射到待测表面.利用四步相移法和解包裹算法求解被测物体表面的连续相位,进而获取曲面表面高度信息,最后建立被测物体三维形貌.本文对楔形薄片和木块进行了测试,初步实验结果证明了该方法原理的可行性.该方法可以与显微镜相配合,进一步发展可用来测量微结构3D形貌,在微测量领域具有很大的应用前景.

关键词：激光、剪切干涉、四步相移、相位解包裹、三维形貌测量

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61177036

在线出版日期：2018-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：464-468