基于菲涅尔衍射的圆孔直径测量

摘要：

本文提出一种新的圆孔直径测量的方法.平行光照射下,圆孔直径和菲涅尔衍射光强分布中峰值轮廓直径存在一定的关系,根据该关系可以实现圆孔直径的测量.仿真和实验数据证明,该方法对于直径5 ~10 mm的圆孔可以达到亚微米级的测量精度.

关键词：直径测量、菲涅尔衍射、峰值轮廓、边缘轮廓

所属期刊栏目：48

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目61475018

在线出版日期：2018-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：379-383