激光脉宽对光学薄膜元件热损伤的影响

摘要：

纳秒量级及以下脉宽激光致光学薄膜元件的损伤研究持续了几十年，但纳秒量级以上脉宽却很少提及。因此，针对10 ns～1 ms量级区间不同脉宽激光辐照光学薄膜元件产生的热损伤进行了研究，计算了高反膜、增透膜和干涉滤光片三种典型光学薄膜元件的温度场分布，并分析了其激光热损伤特性。结果表明，对于长脉宽激光，热扩散深度大，薄膜损伤的电场效应被削弱，热传导效应在损伤中占据主导地位，损伤可至基底；短脉宽激光损伤对薄膜内部的电场分布更为敏感，损伤发生在温度最高值附近的膜层区域。进而开展了10 ns与1 ms脉宽激光致光学薄膜元件的损伤实验，损伤阈值及形貌特征与温度场计算结果显示的热损伤特性相符。

关键词：激光损伤、光学薄膜、温度场

所属期刊栏目：47

分类号：O437(光学)

资助基金：江苏省自然科学基金青年基金No． BK20130751；安徽工业大学青年科研基金No． QZ201515资助。

在线出版日期：2017-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：32-37