多功能有源激光微调机的系统设计

摘要：

针对厚膜混合集成电路的功能微调需求，设计了一种多功能有源激光微调机。通过在线测量不同的产品参数，可实现多功能激光微调，其中包括输出电压修调，保护电流修调和信号电路调整（调测占空比、频率和相位）。本文重点介绍了多功能有源激光微调机的控制系统，通过分析测量步长和减速精度对修调精度和修调效率的影响，进而提出了自动修调方法中兼顾精度和效率的参数设置方法。多功能有源激光微调机很好地满足了国内厚膜混合集成电路功能微调需求。

关键词：有源激光微调机、控制系统、参数设置、厚膜混合集成电路

所属期刊栏目：46

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1459-1462