光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用

摘要：

介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况，将其引入到硫化镉紫外器件制作中，通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺，亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层，经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40％的制作工艺，提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。

关键词：光敏聚酰亚胺、硫化镉、紫外器件、光刻、亚胺化、表面钝化

所属期刊栏目：46

分类号：TN23(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1156-1159