基于激光回馈干涉系统的 PZT 迟滞特性测量

摘要：

压电陶瓷迟滞特性对精密控制系统的精度具有重要影响，目前 PZT 迟滞特性的测量方法精度较低或者测量系统复杂，难以实现高精度测量。总结分析了目前测量压电陶瓷特性的方法，并使用基于激光回馈干涉原理的微片激光回馈干涉测量系统，利用物体表面的散射光对压电陶瓷的迟滞特性进行测量和分析。该方法不需靶镜，对被测对象要求较低，测量便捷，测量精度达到纳米量级，对精密控制系统中压电陶瓷的校准测量具有重要意义。

关键词：压电陶瓷、迟滞特性、激光回馈

所属期刊栏目：46

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目No.61475082资助。

在线出版日期：2016-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1060-1063