大功率半导体激光器腔面氮钝化的研究

摘要：

针对980 nm大功率半导体激光器腔面离子铣氮钝化处理工艺进行了研究，发现腔面离子铣氮钝化可以提高激光器的输出特性及COD功率，器件输出功率提高了32.14％；老化实验后，经过氮钝化的半导体激光器没有明显退化，而未经氮钝化处理的激光器退化严重；使用俄歇谱测试仪（AES）对钝化处理后的半导体激光器试验片进行测试，发现有部分的氮离子遗留在腔面处；氮元素含量由原有的0％上升到20％，与此同时，氧元素的含量由原来的61％降至30％。结果表明，该技术能够改善半导体激光器的腔面特性，器件的可靠性和使用寿命可望得到提高。

关键词：激光器、大功率半导体激光器、腔面钝化、离子铣、灾变性光学损伤(COD)

所属期刊栏目：46

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市教委创新能力提升计划TJSHG201310005001;国家自然科学基金11204009;北京市自然科学基金项目No.4142005资助。

在线出版日期：2016-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：805-808