基于 ZEMAX 的二维变焦扩束光学系统设计

摘要：

针对板条激光器出射光束的尺寸控制问题，设计了一个在 X 方向扩束倍率为14～20×，Y 方向扩束倍率为1．25～1．55×的二维连续变焦扩束光学系统。通过对三组元变焦系统的分析，在理论上推导出固定组、变倍组以及补偿组之间的运动轨迹。利用 ZEMAX 对理论值进行优化，使系统像差满足使用要求。该系统工作波长为1064 nm，可将尺寸在一定范围内的出射光束扩束整形至35～40 mm。该系统具有结构简单、变焦行程短以及变焦曲线平滑等优点。

关键词：光学设计、扩束系统、连续变焦、ZEMAX

所属期刊栏目：46

分类号：TN424(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2016-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：747-751