电视、激光、中波红外多波段增透膜研究

摘要：

针对多光谱成像中存在的多光谱共光路问题，在ZnSe基底上设计了三波段增透膜。通过选取合适的薄膜材料，利用TFCalc膜系设计软件对膜系进行设计与优化，使用热蒸发和离子源轰击结合的方式沉积膜层，采用分光光度计和傅里叶红外光谱仪测量光谱特性。通过设计粘结层与保护层，有效提高了膜层与基底之间的结合力以及膜层的强度。该膜层可以实现多光谱ZnSe基底在电视（500～800 nm）、1064 nm激光和中波红外（3.7～4.8μm）三个波段高效增透，且具有良好的环境适应性。

关键词：热蒸发离子源辅助、光学薄膜、环境可靠性

所属期刊栏目：46

分类号：O484.4+1(固体物理学)

在线出版日期：2016-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：593-596