飞秒激光烧蚀加工恒弹性合金的规律研究

摘要：

恒弹性合金的加工对表面质量和加工精度的要求越来越高,为了实现对恒弹合金的精密定量去除,本文探索了采用飞秒激光烧蚀的加工新方法.首先,分析计算了在高强度飞秒激光辐照加工下,恒弹性合金材料的烧蚀阈值;其次,实验研究了飞秒激光脉冲能量和脉冲个数对该材料上烧蚀加工微坑的直径和深度的影响,结果表明:恒弹性合金的飞秒激光烧蚀阈值为0.167J/cm2;可以通过增大脉冲能量来增大烧蚀坑直径,通过增大脉冲数来增大烧蚀坑深度.脉冲烧蚀坑直径上限为150.64μm,运用飞秒激光旋切加工方法,可获得直径为500 μm的微孔,提高了飞秒激光烧蚀加工的能力.

关键词：恒弹性合金、飞秒激光烧蚀、烧蚀阈值、脉冲烧蚀

所属期刊栏目：45

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973项目2011CB013000;国家自然科学基金项目51335011,91123035,91323301,51475481,51475482

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1309-1313