二氧化钒薄膜的制备和应用研究新进展

摘要：

VO2在68℃左右时发生半导体—金属态的固－固相变，且相变前后光学和电学性能发生突变，该特性使 VO2薄膜在红外智能窗、电致光开关器件、激光防护材料、自适应隐身材料等领域受到广泛研究。制备 VO2薄膜的方法包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶－凝胶法、金属热蒸发法等，理想的制备参数是当前研究的重点。本文总结了近年来 VO2在制备方法和应用发展上的研究现状，对进一步深入研究 VO2薄膜的各项性能及应用具有借鉴意义。

关键词：二氧化钒薄膜、制备方法、应用进展

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目No．SKL2013ZR03资助。

在线出版日期：2015-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：875-882