有机聚合物光波导制作工艺综述

摘要：

有机聚合物光波导光互连已成为实现短距离计算通信设计目标的最佳解决方法。短距离光互连是未来互连方向，综合性能优良的聚合物多模光波导是光互连中的重要组成部分。有机聚合物光波导的制作工艺对光波导的性能具有重要影响，故此对有机聚合物光波导的制作工艺进行了综述，并提出了一些未来的研发方向。

关键词：聚合物光波导、光波导制作工艺、光损耗

分类号：TN929.1

资助基金：国家自然科学基金资助项目No．61167003资助。

在线出版日期：2015-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：599-604