碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的评价方法及应用

摘要：

碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的研究至关重要。本文阐述了可用于表征碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的评价方法，简要介绍了各个测试方法的原理和功能；并对评价方法进行了具体应用，得到了非常有价值的实验结果。这对碲镉汞薄膜减薄工艺损伤层的认识和后续的工艺优化具有非常重要的指导意义。

关键词：碲镉汞、减薄、损伤层

分类号：TN3;TN2

在线出版日期：2015-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：235-239