用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计

摘要：

提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒（VOx 薄膜）制成的微机械系统（MEMS）的电特性等效，并能够模拟 MEMS 像元改变时支路电流的变化。红外面阵探测器读出电路在流片后，生长 MEMS 物理结构（VOx 薄膜）前，该等效像元电路结构用于读出电路的电性能测试，从而剔除不良品，减少封装成本。该电路采用了 GlobalFoundry 0.35μm 工艺设计并流片。测试结果表明，当积分电流为0～200 nA 时，该等效像元电路的电性能与 MEMS 像元一致。

关键词：红外焦平面阵列、读出电路、微机械系统、等效像元电路

分类号：TN432(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金项目No.61204008资助。

在线出版日期：2015-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：171-175