长波碲镉汞材料 As 掺杂激活研究

摘要：

利用离子注入工艺实现长波碲镉汞材料的 As 掺杂，As 作为掺杂介质表现出两性掺杂行为，而 As 只有占据 Te 位成为受主才能形成 P 型碲镉汞材料。通过对砷掺杂碲镉汞材料在汞气氛中进行退火，分析注入退火引起的样品电学性质的变化，对砷激活退火采用的汞压、温度及时间进行了研究，利用霍尔测试和二次离子质谱仪（SIMS）等手段分析激活效果，研究发现，高温富汞热退火可以实现碲镉汞 As 激活。

关键词：碲镉汞、砷掺杂、激活

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2015-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：163-165