灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计

摘要：

设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热－机械灵敏度达到0.043 deg·K －1，在热像元面积比已有报道减小75％的情况下，热－机械灵敏度反而提高至少79％。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度，使其可在2.36×10－6 rad·m2·W－1和9.21×10－6 rad·m2·W－1之间变化。ANSYS 仿真结果和理论结果吻合较好，验证了设计的正确性。

关键词：成像系统、非制冷红外热像元、光学读出、灵敏度、响应时间

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金No.11264021；江西省青年科学基金No.20132BAB216011；九江学院科研项目No.2013KJ16资助。

在线出版日期：2015-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：158-162