碲镉汞焦平面器件背面减薄技术

摘要：

采用机械抛光和机械化学抛光的方法进行碲镉汞焦平面器件的碲锌镉衬底背面减薄，最后利用专用腐蚀液腐蚀的方法将碲锌镉衬底全部去除，碲镉汞完全露出；器件测试结果表明减薄后的MW1280×1024器件经受高低温循环冲击的可靠性显著提高。

关键词：碲镉汞焦平面、背面减薄、可靠性、机械化学抛光、腐蚀

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：637-639