大口径精密光学元件低应力支撑结构研究

摘要：

为了实现倾斜安装放置状态的大口径精密光学元件低应力支撑结构分析设计，采用有限元分析方法，对45°倾斜角安装放置的精密光学透镜在自重作用下的镜面面形进行了研究。首先，建立了光学透镜不同胶结结构的有限元模型，从镜面对角线横截面自重变形及镜面面形的波面误差两方面，分析了两种胶结分布方式及不同胶点大小对镜面面形的影响。然后，在胶结结构基础上，建立了不同镜框支撑结构有限元模型，从镜面面形的波面误差方面，分析了支撑力分布方式对镜面面形的影响。最后，设计了胶结及镜框支撑的低应力支撑结构。分析结果表明，采用胶点直径为30 mm，矩形分布形式胶结，侧面均匀方式支撑镜框时，镜面面形的波面误差PV值为16.608 nm，RMS值为7.9385 nm，满足瑞利判据的要求，验证了支撑结构的合理性。

关键词：大口径精密光学元件、倾斜、胶结、支撑结构、有限元

分类号：TH703.3;TH744.5(仪器、仪表)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金No.20110191110006；国家高技术研究发展计划项目No.2007AA804217；中央高校基本科研业务费资助项目No.CDJXS11111140资助。

在线出版日期：2014-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：554-558