锑化铟离子注入退火技术研究

摘要：

对锑化铟(InSb)铍离子(Be+)注入后的快速退火技术进行了研究,并对不同退火温度和时间的晶片进行了工艺实验,通过测试其PN结Ⅰ-Ⅴ特性,对比了不同快速退火条件对PN结特性的影响,确定在一定快速热退火条件下可以获得高质量的PN结,并对试验结果进行了分析.

关键词：锑化铟、离子注入、快速热退火

所属期刊栏目：43

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1372-1375