红外测径仪YPIR-QT的应用及改进

摘要：

高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛.直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节.本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号；同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述.

关键词：直拉法、智能化改进、红外测径仪YPIR-QT

所属期刊栏目：43

分类号：TN219(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1040-1043