飞秒激光微加工的研究进展

摘要：

综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展.飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段.介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述.最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向.

关键词：飞秒激光、微加工、烧蚀、双光子聚合

所属期刊栏目：43

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：四川省制造与自动化重点实验室开放基金szjj2011-042

在线出版日期：2013-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18