从GFP2011看硅光子学的进展

摘要：

半导体硅材料不仅是一种电子材料,也是一种合适的光子材料.成熟的微电子加工工艺更为硅光子学提供了坚实的技术基础.根据第八届Ⅳ族光子学国际会议的信息,文章综述了硅基光波导技术特别是SOI光波导技术研究的最新进展,着重介绍了光调制器、亚波长光栅、混合集成、封装以及波导加工等方面的新理念与新方法.

关键词：SOI、光波导、硅基、光子学、GFP2011

所属期刊栏目：42

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市属高等学校科学技术与研究生教育创新工程建设项目PXM2011_014213_113634

在线出版日期：2012-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：971-975