不锈钢膜对激光诱导熔石英表面损伤的影响

摘要：

在高功率激光系统中,对于光学元件的激光损伤阈值和损伤增长的研究意义重大.采用磁控溅射方法在熔石英基片上镀12 nm厚的不锈钢膜,使用椭偏仪和紫外-可见光分光光度计测量其厚度和透过率,分别使用S-on-1和R-on-1方法测量样品损伤阚值,比较后证明S-on-1测量方法较为科学.使用S-on-1方法进行激光损伤增长实验,发现损伤点横向尺寸和纵向深度随辐照次数均以e指数形式变化,且相比洁净熔石英基片,样品损伤点横向尺寸损伤增长因子高出41％,样品损伤点纵向深度损伤增长因子高出39％.在激光辐照一定发次后,损伤点纵向深度继续增长,损伤点横向尺寸增长速度不断减缓,最终停止增长,此时样品损伤点横向尺寸与纵向深度比逐渐下降.

关键词：激光诱导损伤、损伤形貌、损伤阈值、损伤增长、不锈钢膜污染物

所属期刊栏目：42

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术支撑项目405085

在线出版日期：2012-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：399-403