热真空环境下二维尺寸视觉测量标定方法研究

摘要：

针对热真空环境条件对视觉测量精度影响的问题,提出了一种新的基于像素当量的二维尺寸视觉测量系统实时标定方法.该方法采用光刻已知尺寸线条的石英标准件作为测量基准,利用一阶微分期望亚像素细分算法和最小二乘拟合,可实时获取较高精度的像素当量值从而减小环境误差.热真空环境下的实验结果表明,该方法可用于热真空环境下二维小尺寸视觉测量的标定.

关键词：热真空环境、视觉测量、像素当量、实时标定、亚像素

所属期刊栏目：42

分类号：TP391.41(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金项目60874106

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67