SOI材料在光电子学中的应用

摘要：

SOI材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料.近年来随着SOI材料制备和加工技术的成熟,SOI基光波导器件的研究日益受到人们的重视.文章介绍了SOI材料在光电子学领域的一些具体应用,包括了在热光器件、电光器件、亚微米波导器件与光纤的耦合器以及光电子集成芯片等方面的最新研究进展.更小的波导截面尺寸是未来SOI光波导器件发展的必然趋势.

关键词：SOI、光波导、硅基、光电子学、热光、电光

所属期刊栏目：42

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17