数字掩模灰度细分技术研究

摘要：

数字掩模技术是一种很有发展前途的衍射微光学元件制作技术.实际制作时,由于感光材料具有感光非线性,实际可利用的灰度数目将小于256.即使256级灰度全部可用,也无法实现曝光量的精细控制以达到一般的加工要求.文中提出了2种灰度细分的方法,即多SLM组合调制和彩色等效灰度技术.从理论上分析了2种方法均能实现灰度的细分,从而达到曝光量的精细控制.

关键词：数字掩模、空间光调制器、灰度细分

所属期刊栏目：41

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：569-572