可见与远红外分色滤光片的研制

摘要：

分色滤光片对成像光谱技术起着重要的作用.本文介绍了一种多通道成像系统中使用的宽光谱分色滤光片,实现了在锗基底上45°倾斜使用时,将0.65～1.1 μm和8～12 μm光谱分成两束光.借助OptiLayer膜系设计软件,得到易于制备的膜系结构,经过多次实验,确定合理的工艺参数,最终得到了光谱性能和理化性能较好的分色片.

关键词：分色滤光片、优化设计、离子辅助沉积、环境可靠性

所属期刊栏目：41

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2011-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：182-186