193 nm深紫外固体激光技术探索

摘要：

对193 nm深紫外激光技术实现途径进行了系统地分析,提出了一种可获得高重复频率、高光束质量的深紫外固体激光技术途径,分析了涉及的关键技术,对实用化深紫外固体激光源的研制具有一定的参考价值.

关键词：193 nm深紫外激光、谐波转换、固体激光技术

所属期刊栏目：40

分类号：TN248.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2010-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1068-1070