离子源辅助红外探测器窗口减反膜的制备

摘要：

硫化锌(ZnS)作为红外探测器窗口广泛地应用于红外技术中,为了提高ZnS在7～12 μm 使用波段的光学透过率和机械强度,选择YF3和YbF3两种红外低折射率膜料分别与ZnS进行匹配,设计并在离子源的辅助下制备出了两种该波段的红外减反膜,并进行了性能的对比.结果显示两种膜系在要求范围内都达到了平均90%的光学透过率,但是YF3-ZnS减反膜的机械强度相比YbF3-ZnS减反膜较差.

关键词：红外减反膜、离子辅助沉积、光学监控、红外探测器窗口

所属期刊栏目：40

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2010-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：880-883