硅基光波导材料的研究

摘要：

光波导是集成光路及其元器件中最基本的构成单元.本文介绍了各种不同类型的光波导材料的特性.硅材料作为目前研究得最透彻的半导体材料,它在光电子领域的应用也是令人关注的.硅基光波导材料种类繁多,主要包括聚合物、外延硅/重掺杂硅、SiO2,SOI和SiGe/Si等.硅基光波导材料是实现硅基光波导器件的基础,本文阐明了它们各自的特点和应用前景.其中聚合物、SiO2和SOI波导是目前研究的热点.

关键词：光波导材料、硅基、聚合物、SiO2、SOI

所属期刊栏目：40

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2010-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：811-816