多孔径光束积分激光匀束器理论与设计

摘要：

分析了多孔径光束积分匀束器的基本原理和设计理论,分别设计了衍射型和成像型微透镜阵列激光匀束器,将高斯光束整形为平顶光束.光线追迹的结果表明,当微透镜阵列的菲涅尔数较大时,两种匀束器都能获得良好的匀束效果,而成像型能比前者提供更好的光束均匀性和边缘坡度.此外,入射光的准直性能会影响匀束效果,当入射光发散角较大,超过微透镜数值孔径时会导致像面光斑出现明显旁瓣,无法实现正常的匀化.

关键词：激光光束整形、激光匀束器、多孔径光束积分器、微透镜阵列

所属期刊栏目：40

分类号：TN245(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金10376044;国家863计划项目资助

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47