利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率

摘要：

为了利用激光散射分布测量表面粗糙度参数,从分析高斯粗糙表面非傍轴散射光能量的角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系,得到了利用散射角分布进行粗糙表面横向粗糙度参数的测量方法.提出了散射光的两个特征值:辐射立体角密度矩M(θ)和M(φ),用以表征散射光能量立体角分布情况,并给出了在非傍轴远场条件下的测量和计算方法.实验证明,给出的特征参数能够得到散射光能量立体角分布特征并可用于测量粗糙表面横向形貌参数.

关键词：表面粗糙度、轮廓均方根斜率、非傍轴散射、散射辐射立体角分布、散射辐射分布矩

所属期刊栏目：39

分类号：O434.11;TN247(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目10874047

在线出版日期：2009-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：840-843