利用激光二维散射特征的表面粗糙度测量方法

摘要：

从分析激光散射表面粗糙度测量技术和激光在粗糙表面的二维散射特征出发,引入表征二维散射光能量分布的三个特征量,提出一种表面粗糙度测量方法,不仅可以测量表面粗糙度的统计参数,而且可以反映出表面纹理的形貌特征.

关键词：非接触测量、表面粗糙度、激光散射、二维散射特征

所属期刊栏目：38

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：544-547