采用DMD并行输入的激光干涉直写方法

摘要：

基于HoloMaker-Ⅳ激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device, DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻.通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理.为高效率制作高品质光变图像提供了新方法.实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍.给出了高质量的实验结果.

关键词：并行激光直写、图像处理软件、数字光变图像

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：424-428