混合式长波线列TDI红外探测器改进互连工艺研究

摘要：

根据目前混合式红外焦平面互连工艺以及对长波线列延时积分红外探测器产量增长的需求,结合现有的工艺设备能力,开发出"共片工艺",以最大限度地提高在互连工艺段的生产效率.

关键词：长波红外探测器、倒装互连、共片工艺

所属期刊栏目：37

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1281-1282,1286