硫化锌衬底上氧化铪保护膜制备及性能研究

摘要：

采用磁控溅射法在硫化锌衬底上制备了氧化铪薄膜,并对氧化铪薄膜的结构和性能进行了分析和测试.结果表明,制备的氧化铪薄膜结构为单斜相,膜层致密,在8～12 μm波段对硫化锌衬底的透过率没有明显影响,硬度显著高于衬底的硬度,且与衬底结合良好,适合用作硫化锌的红外保护膜.

关键词：硫化锌、氧化铪薄膜、保护膜、射频磁控溅射

所属期刊栏目：37

分类号：TN213;TB43(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：762-764