SOI基光耦合器研究进展

摘要：

文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性.

关键词：耦合器、双光栅辅助定向耦合器、耦合效率

所属期刊栏目：37

分类号：TN622+.2(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金60336010;国家重点基础研究发展计划973计划G20000366;国家高技术研究发展计划863计划2002AA312060

在线出版日期：2007-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21