非晶YBCO薄膜热释电红外探测器

摘要：

介绍了非晶YBCO薄膜用作非制冷热释电红外探测器材料.它在室温下显示出强的热释电行为,并且容易在室温下采用射频磁控溅射法沉积,制备工艺与CMOS工艺相兼容,是一种很有潜力的热释电探测器材料.并介绍了非晶YBCO热释电薄膜的研究现状,阐述了该薄膜及其探测器的制备技术和研究动向.

关键词：非晶YBCO薄膜、热释电效应、红外探测器

所属期刊栏目：36

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：957-959