AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究

摘要：

文中针对AlGaAs湿法氧化后器件热稳定性变差,导致性能下降的问题进行了研究.对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较,证明采用降低炉温、延长氧化时间以及经过预加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性.利用拉曼谱分析了AlGaAs湿法氧化技术中影响热稳定性的因素,认为器件的热稳定性在一定程度上取决于湿法氧化生成物中挥发性产物含量的多少.

关键词：垂直腔面发射激光器、AlGaAs、湿法氧化、热稳定性

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.5;TN248.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69889601;国家高技术研究发展计划863计划2002AA312070

在线出版日期：2006-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：871-873