极坐标激光直写技术制作微结构

摘要：

简述了极坐标激光直写技术原理,并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺,制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、平面连续微结构衍射透镜掩模以及基于MEMS技术的微型太阳敏感器光学掩模.

关键词：激光直写技术、掩模、微结构、微光学

所属期刊栏目：36

分类号：TN249;TN305.7(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：525-528