提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究

摘要：

文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响.研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式.并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统.

关键词：纳米测量、法布里-珀罗腔、拍频干涉法、空气折射率

所属期刊栏目：36

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部科学技术研究项目50420130479

在线出版日期：2006-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：288-291