精密光掩模的激光修整技术

摘要：

通过对掩模缺陷和激光特点的分析,提出用激光气化法修整掩模缺陷中多余铬缺陷的技术,对LMT型激光修版机进行了改进.给出了改造和更新的技术要点,在该机上进行了工艺实验,并对结果进行了分析,提出了改进激光修版技术的有关措施.实验表明:当物镜与待修模板之间的距离为1.604mm,激光泵浦灯管的预燃电压为300V时,可以达到最佳的修版效果.

关键词：掩模缺陷、光掩模、激光修整

所属期刊栏目：36

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：269-271