基于数字微镜的高质量精缩投影光刻系统的研制

摘要：

文章详细介绍了数字微镜系统总体设计,并进行了实验验证.数字微镜如果结合高质量的高倍精缩投影光学系统,完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作.最后对系统特点和系统误差进行了总结.

关键词：数字微镜、灰度掩模、系统设计、系统特点、系统误差

所属期刊栏目：36

分类号：TN205;TN430.5(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：206-209